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主要用于半導(dǎo)體及液晶制造工序檢測使用的藥液、純水等的液面或漏液、晶元匹配用光纖單元或LED等微小部品的落下檢測用光纖單元等特定用途的光學(xué)式傳感器系列。
主要用于檢測半導(dǎo)體?液晶制造時的露光、洗凈、熱處理工序所使用的藥液、純水等的液面、漏液,采用獨自的光學(xué)系實現(xiàn)了穩(wěn)定檢測、省空間,支持失效保護(hù)。 晶元匹配時使用的狹光光纖單元、LED等微小部品的落下檢測用光纖單元采用適合用途的光學(xué)設(shè)計及筐體設(shè)計,使高檢測性能與省空間得到了統(tǒng)一,減少了調(diào)整工時,也提高了維護(hù)性。
外觀 | 產(chǎn)品名/型號 | 用途 | 海外標(biāo)準(zhǔn) |
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管安裝液面光纖 HPF-T032/HPF-T034 | 用于罐液面的上下限檢測的2種檢測方式、對應(yīng)失效保護(hù)。 | - | |
放大器內(nèi)置管安裝液面?zhèn)鞲衅?br/>HPQ-T Series | 只需安裝在管上即可簡單地檢測液面。 | ||
罐插入光纖 HPF-D027/HPF-D033 | 全樹脂構(gòu)造物無金屬污染。 | ||
放大器內(nèi)置漏液傳感器 HPQ-Dseries | 放大器內(nèi)置、不需吸紙,可對應(yīng)多種液體。 (酸?堿系藥液及IPA、純水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測) | * 詳情請向本公司銷售部門咨詢 | |
放大器內(nèi)置漏液傳感器 HPQ-DP Series | 放大器內(nèi)置、不需吸紙,可對應(yīng)多種液體。 (純水、工業(yè)水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測) | ||
漏液傳感器 HPF-D040 | PFA保護(hù)本體和纜線、省空間。采用光纖方式可在防爆環(huán)境使用。 | - | |
小型部品通過檢測用光纖 HPF-T047 | 根據(jù)管徑匹配的適配器可提高了檢測穩(wěn)定性 | - | |
晶元匹配用光纖 HPF-T030 | 能可靠地檢測FOUP、開放式盒內(nèi)的300mm晶元 | - |